menu
menutup
Mesin pengeluaran kelas atas yang kompatibel dengan EFEM FAD5700-WH

Mesin pengeluaran kelas atas yang kompatibel dengan EFEM FAD5700-WH

ATAS ＞ Perangkat pelapisan sepenuhnya otomatis ＞ Perangkat pelapis ＞ Mesin pengeluaran kelas atas yang kompatibel dengan EFEM FAD5700-WH

/produk/mesin-pengeluaran-otomatis-penuh/semikonduktorMesin pengeluaran canggih yang kompatibel dengan EFEM FAD5700-WH

Solusi terintegrasi yang membuka era baru dalam pemrosesan wafer
Pemetaan ulang hasil produksi dan pemeriksaan fillet dengan perangkat lunak penyelarasan wafer (sesuai SECS/GEM)

Gambar 1 dari mesin pengeluaran kelas atas yang kompatibel dengan EFEM FAD5700-WH

Tentang layanan purna jual

Titik
・Kompatibel dengan proses semikonduktor mutakhir (WLP/chiplet/integrasi chip heterogen)
・Dapat diaplikasikan pada standar industri tertinggi KOZ
・Produksi sepenuhnya otomatis dimungkinkan saat terhubung ke EFEM
Memperbarui
・Dilengkapi dengan kontrol multi-kepala independen dan fungsi koreksi berat lapisan otomatis.
・UI terbaru berkontribusi pada penghematan tenaga kerja.

・Penyelarasan kecepatan tinggi dengan operasi berkelanjutan tanpa henti:
　Fungsi Tangkapan Mu SKY
・Pengukuran tinggi dalam gerakan terus-menerus tanpa henti:
　Fungsi Penginderaan Mu SKY
・Otomatisasi manajemen volume aplikasi: Fungsi DVM
・Mencegah cacat massa: fungsi AFC
・Kompatibel dengan Wafer dan FOUP
・Fungsi pemetaan wafer
・Hasil pemetaan ulang (kompatibel dengan SECSGEM) ※pilihan

Apa itu EFEM (Equipment Front End Module)?
EFEM adalah perangkat modular yang memuat dan membongkar wafer. Perannya adalah untuk secara otomatis mengeluarkan wafer dari Front Opening Unified Pod (FOUP) atau wadah yang disebut kaset wafer yang menyimpannya, dan mengangkutnya ke peralatan proses sambil mempertahankan standar ruang bersih.

SPESIFIKASI Garis besar spesifikasi

nama
PENGELUARAN MASTER
Model
FAD5700-WH
Metode Kontrol
Kontrol PC/PLC (sesuai SMEMA)