/produk/mesin-pengeluaran-otomatis-penuh/semikonduktorMesin pengeluaran kelas atas yang kompatibel dengan EFEM FAD5700ーWH

Solusi terintegrasi yang membuka era baru dalam pemrosesan wafer
Perangkat lunak penyelarasan wafer memetakan ulang hasil produksi dan pemeriksaan fillet (sesuai SECS/GEM)

Titik
・Mendukung proses semikonduktor mutakhir (WLP/chiplet/integrasi chip heterogen)
・Dapat diaplikasikan pada standar industri tertinggi KOZ
・Produksi sepenuhnya otomatis dimungkinkan saat terhubung ke EFEM
Memperbarui
・Dilengkapi dengan kontrol multi-kepala independen dan fungsi koreksi berat lapisan otomatis.
・UI terbaru berkontribusi pada penghematan tenaga kerja.

・Penyelarasan kecepatan tinggi dengan operasi berkelanjutan dan tanpa henti:
 Fungsi Mu SKY Capture
・Pengukuran tinggi badan dengan operasi terus menerus tanpa henti:
 Fungsi Penginderaan Mu SKY
・Kontrol volume aplikasi otomatis: Fungsi DVM
・Cegah cacat massal sebelum terjadi: Fungsi AFC
・Kompatibel dengan wafer dan FOUP
・Fungsi pemetaan wafer
・Pemetaan ulang hasil (kompatibel dengan SECSGEM) ※pilihan

Apa itu EFEM (Equipment Front End Module)?
EFEM adalah perangkat modular yang memuat dan membongkar wafer. Fungsinya adalah mengeluarkan wafer secara otomatis dari wadah yang disebut FOUP (Front Opening Unified Pods) atau kaset wafer yang menyimpannya, dan mengangkutnya ke peralatan proses dengan tetap menjaga standar ruang bersih.

SPESIFIKASI

nama
DISPENS MASTER
Model
FAD5700-WH
Metode Kontrol
Kontrol PC/PLC (sesuai SMEMA)

Untuk pertanyaan, silakan klik di sini
Untuk pertanyaan, silakan klik di sini

Hubungi kami di sini

Untuk pertanyaan, silakan klik di sini

Melalui telepon
Hubungi kami di sini

Dari formulir
Hubungi kami di sini

Untuk pertanyaan, silakan klik di sini

Pemilihan produk, uji pelapisan, penyewaan mesin demo, perkiraan, tanggal pengiriman, dll.

Buku petunjuk, spesifikasi, diagram, SDS, RoHS2, dll.

Klik di sini untuk sertifikat penerapan

Untuk pertanyaan lainnya, klik di sini