menu
menutup
Mesin pengeluaran wafer level otomatis penuh FAD5100S-WH yang kompatibel dengan EFEM

Mesin pengeluaran wafer level otomatis penuh FAD5100S-WH yang kompatibel dengan EFEM

ATAS ＞ Perangkat pelapisan sepenuhnya otomatis ＞ Perangkat pelapis ＞ Mesin pengeluaran wafer level otomatis penuh FAD5100S-WH yang kompatibel dengan EFEM

/produk/mesin-pengeluaran-otomatis-penuh/semikonduktorMesin pengeluaran otomatis penuh tingkat wafer yang kompatibel dengan EFEM FAD5100S-WH

Solusi Manajemen Wafer Presisi Tinggi
Pemetaan ulang hasil produksi dan pemeriksaan fillet dengan perangkat lunak penyelarasan wafer (sesuai SECS/GEM)

Gambar mesin pengeluaran otomatis penuh tingkat wafer yang kompatibel dengan EFEM FAD5100S-WH-1

Tentang layanan purna jual

・ Pelapisan berkecepatan tinggi dengan operasi non-stop terus menerus
・ Penyelarasan kecepatan tinggi dengan operasi berkelanjutan tanpa henti:
　Fungsi Tangkapan Mu SKY
・ Otomatisasi manajemen volume aplikasi: Fungsi DVM
・ Membentuk pola pelapisan "garis daun" yang ideal untuk menghindari rongga: Fungsi MCD [PAT.P]
・ Mencegah cacat massa: fungsi AFC
・Dilengkapi dengan fungsi pemetaan wafer
・Produksi sepenuhnya otomatis dimungkinkan saat terhubung ke EFEM
・Kompatibel dengan Wafer dan FOUP
・Fungsi pemetaan wafer
・Hasil pemetaan ulang (kompatibel dengan SECSGEM) ※pilihan

Apa itu EFEM (Equipment Front End Module)?
EFEM adalah perangkat modular yang memuat dan membongkar wafer. Perannya adalah untuk secara otomatis mengeluarkan wafer dari Front Opening Unified Pod (FOUP) atau wadah yang disebut kaset wafer yang menyimpannya, dan mengangkutnya ke peralatan proses sambil mempertahankan standar ruang bersih.

SPESIFIKASI

nama
Mesin pengeluaran level wafer otomatis penuh FAD5100S-WH
Model
FAD5100S-WH
Metode Kontrol
Kontrol PC/PLC (sesuai SMEMA)
Pekerjaan yang Berlaku
Wafer 12", wafer 8"